| 1、标定板基材概述 |
材料 (Material)：有机玻璃，石英玻璃，陶瓷；
最大尺寸（Max Size）：600mm×800mm；
厚度（Thickness）：1.6mm，2.3mm，3.0mm，4.8mm等，误差±0.2mm；
光学密度（Optical Density，λ=450nm)：空位3.0±0.3，镀位±0.3；
反射率（Reflectivity，λ=450nm)：空位10±5%，镀位±2%； |
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| 2、标定板精度概述 |
总长精度：±5.0μm；
图形尺寸精度：±1.0μm ～ ±3.0μm；
图形位置精度：±1.0μm ～ ±3.0μm；
线条精度：±1μm；
缝宽均匀度：≤1μm； |
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| 4、标准产品 |
| 型号 | 规格 | 材料 | 精度 | 现货 | NANO CBC25MM-1.0 | 外形：25mm×25mm×3.0mm，图形：棋盘格1.0mm×1.0mm | G | 1级 | ● | NANO CBC50MM-1.0 | 外形：50mm×50mm×3.0mm，图形：棋盘格1.0mm×1.0mm | G | 1级 | ● | NANO CBC75MM-2.0 | 外形：75mm×75mm×3.0mm，图形：棋盘格2.0mm×2.0mm | G | 1级 | ● | NANO CBC100MM-2.0 | 外形：100mm×100mm×3.0mm，图形：棋盘格2.0mm×2.0mm | G | 1级 | ● | NANO CBC200MM-5.0 | 外形：200mm×200mm×3.0mm，图形：棋盘格5.0mm×5.0mm | G | 2级 | ● |
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| | ※ 标定板厚度可选1.6mm，2.3mm，3.0mm，4.8mm；
※ 1级精度指图形尺寸精度与图形位置精度为±1.0μm，2级精度指图形尺寸精度与图形位置精度±2.0μm，3级精度指图形尺寸精度与图形位置精度为±3.0μm；
※ 产品刻画图案可在标准产品基础上定制。 详细请看 www.nanovision.cn 或联系我们 0755-83589500 深圳钠研科技有限公司为您提供最优产品！ |
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