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--  作者：kirika
--  发布时间：2009-2-4 9:37:19
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1、标定板基材概述
材料 (Material)：有机玻璃，石英玻璃，陶瓷；
最大尺寸（Max Size）：600mm×800mm；
厚度（Thickness）：1.6mm，2.3mm，3.0mm，4.8mm等，误差±0.2mm；
光学密度（Optical Density，λ=450nm)：空位3.0±0.3，镀位±0.3；
反射率（Reflectivity，λ=450nm)：空位10±5%，镀位±2%；
  2、标定板精度概述
总长精度：±5.0μm；
图形尺寸精度：±1.0μm ～ ±3.0μm；
图形位置精度：±1.0μm ～ ±3.0μm；
线条精度：±1μm；
缝宽均匀度：≤1μm；
  3、标定板常用图样示例

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4、非标准产品
※ 标定板厚度可选1.6mm，2.3mm，3.0mm，4.8mm；
※ 1级精度指图形尺寸精度与图形位置精度为±1.0μm，2级精度指图形尺寸精度与图形位置精度±2.0μm，3级精度指图形尺寸精度与图形位置精度为±3.0μm；
※ 产品刻画图案可在标准产品基础上定制。

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